BriteSD系列是睿勵(lì)科學(xué)儀器(上海)有限公司在2023年最新推出的明場(chǎng)光學(xué)圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備。
該系列適用于集成電路制造、化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域的缺陷檢測(cè)，可檢測(cè)缺陷類型:顆粒、污染、圖形缺少、劃傷、圖形黏連、殘留等，具備晶圓全表面檢測(cè)、自動(dòng)缺陷分類以及高分辨率的缺陷復(fù)查功能，運(yùn)用睿勵(lì)自主開(kāi)發(fā)的先進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)和多種獨(dú)特的算法，可以應(yīng)用于檢測(cè)更小的缺陷。
主要特點(diǎn)：
l 支持8/12吋wafer?
l 明場(chǎng)檢
WSD系列產(chǎn)品是睿勵(lì)科學(xué)儀器(上海)有限公司自主研發(fā)、生產(chǎn)的全自動(dòng)晶圓外觀缺陷檢測(cè)設(shè)備。設(shè)備的基本檢測(cè)原理是利用光學(xué)系統(tǒng)成像、通過(guò)圖像分析的方式來(lái)捕抓并分類各種晶圓表面的缺陷。
該系列產(chǎn)品包括WSD200、WSD300、WSD220、WSD320等多型號(hào)產(chǎn)品，適用于集成電路制造、化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域。
主要特點(diǎn)：
l 支持6/8/12吋wafer
l ?可定制化兼容Frame產(chǎn)品
l ?支持透明/非透明襯底片檢測(cè)
l ?可檢
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