TFX-R1———光學(xué)膜厚測量設(shè)備
l 可量測多種材料薄膜
l 提供薄膜可靠和精確的厚度、折射率、成分比率和應(yīng)力測量
l 輸出產(chǎn)能高,具有較高的性價比
l 光斑尺寸更小?
l 可量測范圍更寬廣,超厚膜和超薄膜量測能力更穩(wěn)定
l 全新橢圓偏振光路設(shè)計
l 機(jī)械運動性能可靠,穩(wěn)定性表現(xiàn)卓越
l 功能豐富、易用的軟件和算法
l 全面支持工廠自動化要求
TFX4000i——薄膜厚度測量設(shè)備
l 可量測多種材料薄膜
l 提供薄膜可靠和精確的厚度、折射率、成分比率和應(yīng)力測量
l 輸出產(chǎn)能高,具有較高的性價比
l 可量測范圍更寬廣,超薄膜量測能力更穩(wěn)定
l 機(jī)械運動性能可靠,穩(wěn)定性表現(xiàn)卓越
l 功能豐富、易用的軟件和算法
l
TFX3000P——薄膜厚度測量設(shè)備
l 可量測多種材料薄膜
l 提供薄膜可靠和精確的厚度、折射率、成分比率和應(yīng)力測量
l 低持有成本(COO),輸出產(chǎn)能高,具有極高的性價比
l 機(jī)械運動性能可靠,穩(wěn)定性表現(xiàn)卓越
l 功能豐富、易用的軟件和算法
l 全面支持工廠自動化要求