TFX4000OCD——光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測(cè)

? ? ? ? ?光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測(cè)產(chǎn)品基于光學(xué)膜厚量測(cè)平臺(tái)，搭載自主研光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測(cè)產(chǎn)品基于光學(xué)膜厚量測(cè)平臺(tái)，搭載自主研發(fā)算法功能，可應(yīng)用于顯影后檢查（ADI）、刻蝕后檢查（AEI）等多種工藝段的二維或三維樣品的線寬、側(cè)壁角度（SWA）、高度（Height）/深度等關(guān)鍵尺寸（CD）特征或整體形貌測(cè)量。

側(cè)壁角度（SWA）、高度（Height）/深度等關(guān)鍵尺寸
（CD）特征或整體形貌測(cè)量。