TFX-R1———光學(xué)膜厚測(cè)量設(shè)備

l 可量測(cè)多種材料薄膜

l 提供薄膜可靠和精確的厚度、折射率、成分比率和應(yīng)力測(cè)量

l 輸出產(chǎn)能高，具有較高的性價(jià)比

l 光斑尺寸更小

l 可量測(cè)范圍更寬廣，超厚膜和超薄膜量測(cè)能力更穩(wěn)定

l 全新橢圓偏振光路設(shè)計(jì)

l 機(jī)械運(yùn)動(dòng)性能可靠，穩(wěn)定性表現(xiàn)卓越

l 功能豐富、易用的軟件和算法

l 全面支持工廠自動(dòng)化要求